Gigaphoton ha annunciato un'estensione del proprio sistema di riciclo del neon anche ai laser ArF (fluoruro di argon), con un tasso di recupero dichiarato del 50%. La soluzione, denominata hTGM per ArF, consente di riutilizzare parte del gas impiegato nei processi di litografia, riducendo la dipendenza dalle forniture esterne di un materiale diventato strategico per l'industria dei semiconduttori.
Perché il neon è diventato cruciale
Il neon è un gas raro essenziale per i laser a eccimeri utilizzati nella produzione di chip. Dopo l'impennata dei prezzi e le difficoltà di approvvigionamento seguite al conflitto in Ucraina, che ha messo in crisi due dei principali produttori mondiali, le aziende hanno accelerato sulla ricerca di alternative e sistemi di recupero. Il riciclo interno riduce i costi e mitiga i rischi legati a interruzioni della catena di fornitura.
Come funziona il recupero del 50%
Il sistema hTGM per ArF cattura il gas esausto in uscita dalla camera laser, lo purifica e lo reintroduce nel ciclo produttivo. Secondo Gigaphoton, il tasso di recupero del 50% è sufficiente a dimezzare il consumo di neon nuovo per ogni unità prodotta, con un impatto immediato sui costi operativi e sulla sostenibilità ambientale. La tecnologia è già disponibile per i laser a KrF e ora si estende alla piattaforma ArF, utilizzata per la litografia a 193 nm.
L'adozione di sistemi di riciclo su larga scala potrebbe ridurre la volatilità del mercato del neon e rendere più resilienti le fabbriche di semiconduttori, sempre più sotto pressione per la domanda di chip avanzati. Gigaphoton non ha reso noti i dettagli commerciali né i tempi di distribuzione, ma la mossa segnala una tendenza chiara: l'economia circolare entra anche nei processi litografici.
